MEMS加(jia)速度振動(dong)傳(chuan)感器原(yuan)理(li)

MEMS加(jia)速度振動(dong)傳(chuan)感器原(yuan)理(li)MEMS是(shi)micro electro mechanical system微電(dian)子機(ji)械(xie)系統(tong)的縮(suo)寫，這種微電(dian)子制(zhi)造技(ji)術適(shi)用(yong)於(yu)任何(he)傳(chuan)感器的制(zhi)造。這些(xie)技(ji)術，通常(chang)在(zai)矽(gui)晶(jing)體(ti)上蝕刻，創造微觀(guan)尺寸的機(ji)械(xie)傳(chuan)感結構(gou)。當(dang)與(yu)微電(dian)路(lu)耦(ou)合(he)時(shi)，MEMS傳(chuan)感器可以用(yong)於(yu)測量(liang)例(li)如(ru)加(jia)速度之類的物(wu)理(li)參(can)數。不(bu)同(tong)於(yu)ICP®傳(chuan)感器，MEMS傳(chuan)感器測量(liang)頻(pin)率(lv)低至0Hz(靜(jing)態(tai)或者(zhe)DC加(jia)速度)。PCB®制(zhi)造兩種類型的MEMS加(jia)速度計(ji)，可變電(dian)容(rong)式和(he)壓阻式(shi)。可變電(dian)容(rong)(VC)MEMS加(jia)速度計(ji)主(zhu)要是(shi)低幅(fu)值，高(gao)靈敏度設備(bei)，用(yong)於(yu)結構(gou)監測和(he)恒(heng)定加(jia)速度的測量(liang)。壓阻(PR)MEMS加(jia)速度計(ji)主(zhu)要是(shi)高(gao)量(liang)程(cheng)，低靈敏度設備(bei)，用(yong)於(yu)沖擊和(he)爆(bao)炸(zha)應(ying)用(yong)。 工(gong)業加(jia)速度傳(chuan)感器可以使用(yong)耐腐蝕和(he)耐化學腐(fu)蝕的(de)不銹鋼進行構(gou)造。在有(you)害化學物(wu)質(zhi)的環境(jing)中(zhong)，傳(chuan)感器考(kao)慮使用(yong)聚(ju)四氟乙(yi)烯耐腐蝕的(de)連(lian)接電(dian)纜(lan)。強烈建議(yi)檢查任何(he)可疑化學物(wu)質(zhi)的化學兼(jian)容(rong)性(xing)圖表(biao)。對(dui)於能(neng)接(jie)觸到切(qie)屑(xie)的(de)環(huan)境(jing)，壹(yi)體(ti)鎧裝電(dian)纜(lan)能(neng)提(ti)供良(liang)好的(de)保(bao)護。